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崎岖温探针台案例

崎岖温探针台案例

  • 所属分类:探针台应用
  • 浏览次数:
  • 宣布时间:2022-05-21 08:49:09
  • 详细介绍

崎岖温探针台是一种用于信息科学与系统科学领域的工艺试验仪器,于2010年06月09日启用。

主要功效:用于测试差别情况、差别温度条件下微结构半导体器件、微电子器件及质料电学特性表征。

崎岖温探针台

技术指标:1、ST-500低温真空探针台,振动水平 +/- 25 nm;漂移:+/- 150 nm 30分钟; 2、系统包括8 英寸样品台,可容纳8英寸样品。温度规模:液氦:6K-475K;液氮:80K-475K。温度均匀性+/-0.05K以内。 3、探针台提供6个探针臂端口,4个独立的微操作探针臂。


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