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半自动探针台是一种用于信息科学与系统科学领域的剖析仪器，探针台厂家生产的半自动探针台通过和外接的测试仪器4156C以及温度控制设备TP03000A的连接，组成一个测试平台，完成对器件封装前的电性能测试（电阻，C/V,击穿特性等）。
半自动探针台技术指标：
支持4，5，6寸wafer 区分率0.25um 提供4个SMU接口，可同时输出（丈量）四路直流信号。 每个SMU最大输出电压100V(-100V),最大输出电流1A 丈量功率100V*10mA。 开路漏电流20fA。
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