随着探针台工艺不绝生长,现在探针台的种类很是多。
1. 满足种种温度的需求(极低温)
因为晶圆在低温大气情况测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。制止这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且坚持整个测试历程泵的运转。
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。太过氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。制止这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且坚持整个测试历程泵的运转。
晶圆测试历程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,把针座设计于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调解探针的位置。
2. 体积小,稳定性高
与古板探针台相比,崎岖温真空探针台的稳定性更高,接纳先进的技术工艺,让探针台在事情历程中流畅性更高,平稳性更高,从而包管每次实验数据的稳定性,这样实验得出的结果就会越发准确,关于企业快速研发新产品有很大资助。